特許
J-GLOBAL ID：200903073803724027
ナフトキノンジアジド化合物及び感光性組成物
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-316653
公開番号（公開出願番号）：特開平8-176095
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：
【要約】【構成】 o-キノンジアジド基を含有する特定骨格のジスルホニルクロライド基とジヒドロキシ化合物の水酸基が反応してスルホン酸エステル結合で縮合した骨格を有することを特徴とするナフトキノンジアジド化合物、および該キノンジアジド化合物を含有する感光性組成物。【効果】 高感度で耐薬品性にも優れる。
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)で表されるジスルホニルクロライド化合物のスルホニルクロライド基とジヒドロキシ化合物の水酸基が反応してスルホン酸エステル結合で縮合した骨格を有することを特徴とするナフトキノンジアジド化合物。【化1】(式中、Rは水素原子、アルキル基、アルコキシ基またはハロゲン原子を表す。)
IPC (3件)：
C07C309/88
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
