特許
J-GLOBAL ID：200903073813340677
蒸着用マスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福田 賢三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-184601
公開番号（公開出願番号）：特開2002-371349
出願日： 2001年06月19日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：
【要約】【課題】 被蒸着基板と熱線膨張係数が異なる素材からなるマスク本体を用いて蒸着を行っても、蒸着部の寸法精度および蒸着位置の累積精度を向上させる。【解決手段】 矩形のパターン形成領域内に多数の通過孔4...が開設されたマスク本体2に、該マスク本体2における接着領域に応じた形状の四角枠(上下左右4辺に連続する第1辺3a,第2辺3b,第3辺3c,第4辺3dからなる枠部)を被蒸着基板と同等の熱線膨張係数の素材によって形成した枠体3を、温度変化に対して安定した接着剤5を用いて接着してなる蒸着用マスク1は、蒸着窯内に置かれたとき、被蒸着基板と同じ熱線膨張係数を有する枠体3の膨張収縮にマスク本体2も追随することとなる。
請求項（抜粋）：
被蒸着基板への蒸着用パターンがパターン形成領域内に通過孔として形成された薄板状のマスク本体と、上記マスク本体におけるパターン形成領域の外周縁である接着領域に応じた形状の枠部を、被蒸着基板と同等の熱線膨張係数の素材によって上記マスク本体よりも十分な厚みを有するように形成した枠体と、からなり、上記マスク本体と枠体とを温度変化に対して安定した接着方法により密着状に一体化してなる蒸着用マスク。
Fターム (2件)：
引用特許：
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