特許
J-GLOBAL ID：200903073815946513
情報記録媒体の欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-100506
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273142
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 欠陥がトラック中心でも、それ以外の位置にあっても大きさが正確に求められる。【構成】 光源1からの光は、カップリグレンズ2で平行光にされ、対物レンズ7で収光されて検査対象物3に照射される。前記カップリングレンズ2の後に回折格子12を設けてビームを分割する。該回折格子のピッチを変えることにより検査対象物3上に収光されるビームのビーム間距離を変えることができ、照射ビームの半径方向の強度分布が台形形状とすることができる。この台形ビームを検査対象物に照射することにより、欠陥がトラックのどの位置に存在していても同じ欠陥検出感度で検出できる。
請求項（抜粋）：
光ディスク等の検査対象物からの反射光による検知信号に基づいて検査対象物上の欠陥を検出する欠陥検査装置において、前記検査対象物への照射ビームの半径方向の強度分布が台形形状であることを特徴とする情報記録媒体の欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G11B 7/00
