特許

J-GLOBAL ID：200903073818652987

静電レンズおよびその製造方法

発明者： 永 井 隆 光 ,  山 崎 裕一郎 ,  三 好 元 介
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-337408
公開番号（公開出願番号）：特開平6-187901
出願日： 1992年12月17日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 筒体の中心軸上に滑らかな電位分布を生じさせることができ、またレンズ径および全体形状の小型化を図ること。【構成】 絶縁性筒体11の内面の所定位置に金属膜13が被覆され、金属膜13以外の分布に高抵抗膜12が被覆されている。金属膜13には外部電源19から負電位が印加され、高抵抗膜12は接地されている。

請求項（抜粋）：

絶縁性筒体の内面の所定位置に外部電源により電圧が印加される金属膜を被覆し、前記筒体内面の金属膜以外の部分に、接地された高抵抗膜を被覆したことを特徴とする静電レンズ。

IPC (3件)：

H01J 1/46 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-236443
  
• 特開昭60-189851
  
• 特開昭63-110542