特許
J-GLOBAL ID:200903073824133533

着磁体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 桑井 清一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-030066
公開番号(公開出願番号):特開平5-198435
出願日: 1992年01月21日
公開日(公表日): 1993年08月06日
要約:
【要約】【目的】 着磁治具の鉄製の棒の加工精度に左右されず、それ以上に着磁幅を小さくすることにより、例えば磁気式リニアエンコーダとしての位置分解能を高めることができる着磁体およびその製造方法を提供する。【構成】 シリコンウェーハ1の面上に不連続の磁性体膜2を形成し、この磁性体膜2をパルス着磁法を用いて磁化させる。この結果、各磁性体膜2が不連続膜として形成されているので、一つの磁性体膜2を磁化するとき、隣の磁性体膜はその磁化による影響を受けにくい。
請求項(抜粋):
非磁性体の材料からなる基体上に着磁部が不連続に位置することを特徴とする着磁体。
IPC (5件):
H01F 13/00 ,  G01B 7/00 ,  G01D 5/245 ,  H01F 1/00 ,  H01F 7/02
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平4-261621

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