特許

J-GLOBAL ID：200903073826904545

ガラス基板検出方法及び装置

発明者： 白石 輝昭
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020553
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214046
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】[目的]ガラス基板が1枚だけ在る場合でもガラス基板が全然無い場合とはっきり区別して、ガラス基板の存否を正確に判別する。[構成]発光素子12からの光線LBは、光ファイバ26の一端面26aから垂線F1 上に出てウエハボート10上を長手方向に直進して第1のミラー30に入射し、そこで約90 ゚光路を第2のミラー32側に曲げられ、次に第2のミラー32に入射すると、そこで約90 ゚光路を光ファイバ28の一端面28aの垂線F2 上に曲げられ、そのままウエハボート10上を長手方向に直進して光ファイバ28の一端面28aに入射し、光ファイバ28内を伝搬して受光素子14に入射する。受光素子14の出力信号SAは、判定回路18において、しきい値発生部20からのしきい値THと比較される。

請求項（抜粋）：

所定位置に少なくとも1枚のガラス基板が在るか無いかを判別するためのガラス基板検出方法において、発光手段より出射された光線が各々の前記ガラス基板の占めるべき空間を少なくとも2回通過して受光手段に入射し、前記受光手段の受光した光線の光強度に基づいて前記ガラス基板の存否が判定されるようにしたことを特徴とするガラス基板検出方法。