印刷マスク位置合わせ方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大田優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-288851
公開番号（公開出願番号）：特開平8-118592
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：

【要約】【目的】スクリーン印刷のスクリーンマスクと印刷される基板を、短時間で精度よく位置合わせする。【構成】不透明の基準印刷パターンを形成した透明の基板を印刷ステージに搭載し、その下側から光を照射してスクリーンの位置合わせを行う。スクリーンの印刷パターンと基準印刷パターンが重なり、光が漏れない位置で、スクリーンと印刷ステージの位置を固定する。肉眼で位置合わせをする代わりに、TVカメラを用いてもよい。

請求項（抜粋）：

印刷ステージの基板配置位置とスクリーンマスクを合わせる印刷マスク位置合わせ方法において、印刷ステージ内に光源を配置し、その光源とスクリーンマスクの間に不透明の基準パターンが形成された透明の基板を配置し、印刷ステージとスクリーンマスクの一方を近接させながら光源からの光がスクリーンマスクの上方に漏れない位置に移動させ、その位置で印刷する基板の位置決めを行うことを特徴とする印刷マスク位置合わせ方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-229386
特開昭61-108555

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