特許

J-GLOBAL ID：200903073830248180

電子顕微鏡等の試料交換装置

発明者： 福田 浩章
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-141742
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349436
出願日： 1993年06月14日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 簡単に操作性良く試料ホルダの脱着を行うことができ、また、ホルダの試料交換棒からの脱落を防止し得る電子顕微鏡等の試料交換装置を実現するを実現する。【構成】 試料ホルダ8を試料ステージ3上に載せるために、試料交換棒6を図中右側に移動させる。ホルダ8を装着したC状の弾性体を試料室2内部に導入し、ステージ3上の逆C状の弾性体13に当接させる。交換棒6を更に押すと、C状の弾性体12の開口部Aの径がホルダ8が装着されているために開かれているので、逆C状の弾性体13の先端部はC状の弾性体12の開口部Aの内側から入り込み、ホルダ8の外側に逆C状の弾性体13が挿入され、その外側にC状の弾性体12が位置する。次に交換棒6を左側に引き抜くと、試料ホルダ8は逆C状の弾性体13に保持されるため、ステージ3上に残され、試料交換棒6先端のC状の弾性体13からはホルダ8が外される。試料交換棒6を更に引き抜き、C状の弾性体12部分を試料交換室5内にまで移した後、仕切弁4が閉じらる。

請求項（抜粋）：

内部が真空排気され、試料ホルダが配置される試料ステージを有した試料室と、試料交換室と、試料交換室と試料室とを仕切る仕切弁と、試料交換室を介して試料室内に試料ホルダを搬送する試料交換棒と、試料交換棒の先端に取り付けられC状に形成された弾性部材と、試料ステージ上に固定され逆C状に形成された弾性部材とを備えており、試料交換棒先端のC状の弾性部材と試料ステージ上の逆C状の弾性部材とは、それぞれ、試料ホルダーが装着されたときには開口部が比較的大きく開かれることを特徴とする電子顕微鏡等の試料交換装置。