特許
J-GLOBAL ID：200903073833875402
レリーフ型回折格子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-255804
公開番号（公開出願番号）：特開平7-108612
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 耐環境性および耐経時変化に優れた信頼性の高いレリーフ型回折格子を、量産性良く得ることができるレリーフ型回折格子の製造方法を提供する。【構成】 所望の断面形状(1) を有する型(11)を用いて、無機材料基板(21)上に有機材料(31)からなるレリーフ型回折格子パターン層(3) を形成し、その後、レリーフ型回折格子パターン層(3) の形状を、異方性エッチングにより無機材料基板(21)に転写してレリーフ型回折格子を製造する。
請求項（抜粋）：
所望の断面形状を有する型を用いて、無機材料基板上に有機材料からなるレリーフ型回折格子パターン層を形成する工程と、前記レリーフ型回折格子パターン層の形状を、異方性エッチングにより前記無機材料基板に転写する工程とを有することを特徴とするレリーフ型回折格子の製造方法。
IPC (4件)：
B29C 69/00
, B29D 11/00
, G02B 5/18
, B29L 11:00
