特許
J-GLOBAL ID:200903073834221155
感光性接着剤組成物、及びそれを用いた接着フィルム、接着シート、接着剤パターン、並びに半導体装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-139504
公開番号(公開出願番号):特開2008-088403
出願日: 2007年05月25日
公開日(公表日): 2008年04月17日
要約:
【課題】アルカリ現像液によるパターン形成性を有すると共に、露光後の十分な再接着性を有する感光性接着剤組成物、及びそれを用いた接着フィルム、接着シート、接着剤パターン、並びに半導体装置を提供する。【解決手段】現像によるパターン形成が可能な感光性接着剤組成物であって、パターン形成後の100°Cにおける貯蔵弾性率が10MPa以下である感光性接着剤組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
現像によるパターン形成が可能な感光性接着剤組成物であって、パターン形成後の100°Cにおける貯蔵弾性率が10MPa以下であることを特徴とする感光性接着剤組成物。
IPC (7件):
C09J 201/00
, C09J 179/08
, C09J 183/10
, C09J 4/00
, C09J 7/02
, C08G 73/10
, H01L 21/52
FI (7件):
C09J201/00
, C09J179/08 A
, C09J183/10
, C09J4/00
, C09J7/02 Z
, C08G73/10
, H01L21/52 E
Fターム (50件):
4J004AA11
, 4J004AB05
, 4J004AB06
, 4J004AB07
, 4J004BA02
, 4J004CA06
, 4J004CB03
, 4J004CC02
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040EH031
, 4J040EK111
, 4J040FA002
, 4J040GA07
, 4J040JA09
, 4J040JB07
, 4J040JB08
, 4J040KA13
, 4J040LA01
, 4J040LA02
, 4J040LA06
, 4J040LA08
, 4J040MB03
, 4J040NA19
, 4J040NA20
, 4J043QB26
, 4J043QB31
, 4J043SA06
, 4J043SA62
, 4J043SB01
, 4J043SB02
, 4J043TA22
, 4J043UA121
, 4J043UA131
, 4J043UA132
, 4J043UA152
, 4J043UB011
, 4J043UB012
, 4J043UB022
, 4J043UB122
, 4J043UB132
, 4J043UB141
, 4J043UB351
, 4J043XA16
, 4J043ZA02
, 4J043ZB01
, 4J043ZB22
, 5F047BA21
, 5F047BA23
, 5F047BA37
引用特許:
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