特許

J-GLOBAL ID：200903073836193515

薬液モニタ装置

発明者： 榎本 昭仁
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275921
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086565
出願日： 2001年09月12日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】 低コストでの連続測定が可能になり、液濃度または温度の異常発生時にデータ情報を瞬時に発信できるように改良された薬液モニタ装置を提供することを主要な目的とする。【解決手段】 複数のエッチング槽17、18、19を順次切替えて、1つの測定系で、薬液の濃度または温度を連続して測定し管理することができるように改良された薬液モニタ装置にかかる。この発明によれば、インラインタイプで、1つの測定系で複数のエッチング槽の濃度または温度を集中管理することで、低コストでの連続測定が可能になり、液濃度または温度の異常発生時にデータ情報を瞬時に発信できる。

請求項（抜粋）：

複数のエッチング槽を順次切替えて、1つの測定系で、薬液の濃度または温度を連続として測定し管理することを特徴とする薬液モニタ装置。

Fターム (5件)：

5F043EE01 ,  5F043EE10 ,  5F043EE29 ,  5F043EE40 ,  5F043GG10