特許
J-GLOBAL ID：200903073838330714
液体原料用気化供給器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-036707
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132226
出願日： 1991年02月05日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、液体原料の次工程への供給に際して、液体原料中に気泡が発生しない液体原料用気化供給器を提供するにある。【構成】 毛細管で構成され、内部を流れる液体原料(L)の質量流量を測定するセンサ管(1)と、センサ管(1)内を流れる液体原料(L)に比例して液体原料(L)を流すことの出来るバイパス管(2)と、前記センサ管(1)から又はセンサ管(1)とバイパス管(2)から流出した液体原料(L)の供給量を制御する流量制御弁(7)と、流量制御弁(7)で流量制御された液体原料(L)をキャリアガス(H)にて気化して次工程に供給する気化用開閉弁(12)とで構成された液体原料用気化供給器(LMFC)において、前記流量制御弁(7)と気化用開閉弁(12)とを恒温槽(A1)内に配設し、流量制御弁(7)と気化用開閉弁(12)とを接続孔(23)にて接続した事を特徴とする。
請求項（抜粋）：
毛細管で構成され、内部を流れる液体原料の質量流量を測定するセンサ管と、センサ管内を流れる液体原料に比例して液体原料を流すことの出来るバイパス管と、前記センサ管から又はセンサ管とバイパス管から流出した液体原料の供給量を制御する流量制御弁と、流量制御弁で流量制御された液体原料をキャリアガスにて気化して次工程に供給する気化用開閉弁とで構成された液体原料用気化供給器において、前記流量制御弁と気化用開閉弁とを恒温槽内に配設し、流量制御弁と気化用開閉弁とを接続孔にて接続した事を特徴とした液体原料用気化供給器。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C23C 16/44
, H01L 21/31
