特許

J-GLOBAL ID：200903073847711410

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置

発明者： 邱 宏 ,  島田 勝人 ,  酒井 真理
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-239834
公開番号（公開出願番号）：特開2000-062173
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 振動板の変形量及び耐久性の向上を図ったインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室12の一部を構成する振動板を介して前記圧力発生室12に対応する領域に圧電素子300を形成したインクジェット式記録ヘッドにおいて、圧電素子を構成する下電極60、圧電体層70及び上電極80を圧力発生室12に対向する領域に設け、下電極60と、その少なくとも幅方向両側に連続的に設けられて引張り応力を有する引張り膜61で振動板を構成し、下電極60に引張り力を作用させる。これにより、圧力発生室12を形成する際に、圧電体層70の内部応力の緩和量が低減され、振動板の初期変形が抑えられるため、圧電体能動部320の駆動による振動板の変形量を実質的に向上することができ、振動板の耐久性も向上する。

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を構成する振動板を介して前記圧力発生室に対応する領域に圧電素子を形成したインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電素子を構成する下電極、圧電体層及び上電極が前記圧力発生室に対向する領域に設けられ、前記下電極と、該下電極の少なくとも幅方向両側に連続的に設けられて引張り応力を有する引張り膜とが前記振動板の少なくとも上層部を構成していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (13件)：

2C057AF52 ,  2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG90 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP31 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14