特許
J-GLOBAL ID:200903073850125263

マッハツェンダ干渉計光センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 絹谷 信雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-329721
公開番号(公開出願番号):特開2003-130609
出願日: 2001年10月26日
公開日(公表日): 2003年05月08日
要約:
【要約】【課題】 温度変化に対して安定で、しかも構成が簡素なマッハツェンダ干渉計光センサを提供する。【解決手段】 光源1と、その光源1からの光を2つの光経路a,bに分岐して再度結合させるマッハツェンダ干渉計と、その出力光を電気信号に変換する受光器7と、一方の光経路bにおいて検出対象の物理量に応じた交流位相変化を通過光に与える物理量検出媒質4と、一方の光経路aにおいて位相変化の周期が一定で位相変化の振幅が一定の位相掃引を通過光に与える位相変調器8と、前記受光器7の出力信号から前記物理量に依存する振幅を持つ交流成分を分離検出する検波器9と、この検波器9の出力信号の前記位相掃引周期における最大値を検出する最大値検出器10とを備えた。
請求項(抜粋):
光源と、その光源からの光を2つの光経路に分岐して再度結合させるマッハツェンダ干渉計と、その出力光を電気信号に変換する受光器と、一方の光経路において検出対象の物理量に応じた交流位相変化を通過光に与える物理量検出媒質と、一方の光経路において位相変化の周期が一定で位相変化の振幅が一定の位相掃引を通過光に与える位相変調器と、前記受光器の出力信号から前記物理量に依存する振幅を持つ交流成分を分離検出する検波器と、この検波器の出力信号の前記位相掃引周期における最大値を検出する最大値検出器とを備えたことを特徴とするマッハツェンダ干渉計光センサ。
Fターム (6件):
2F064DD02 ,  2F064EE04 ,  2F064GG02 ,  2F064GG06 ,  2F064GG22 ,  2F064GG55

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