特許

J-GLOBAL ID：200903073850185703

基板洗浄用ブラシの収納容器

発明者： 佐々木 忠司 ,  西村 譲一 ,  森田 彰彦 ,  野々村 正浩
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237727
公開番号（公開出願番号）：特開平8-282755
出願日： 1995年08月21日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：

【要約】【目的】 洗浄用ブラシの交換に際し基板洗浄装置のブラシ回転軸に洗浄用ブラシを取着しブラシ回転軸から洗浄用ブラシを取り外すときに、洗浄用ブラシのブラシ本体に手が触れて基板汚染の原因となることがなく、必要によりブラシ本体を常に湿潤状態に保つことも可能である収納容器を提供する。【構成】 上面が開口し、洗浄用ブラシ10のブラシホルダ12及びブラシ本体14を収容する収容空間30、36を有し、内面側にブラシホルダを支持する支持部40が形設された容器本体24と、容器本体の上面開口を閉塞し容器本体に係合する蓋体26とから構成した。

請求項（抜粋）：

上面側に基板洗浄装置のブラシ回転軸に係止される係止部が形設されたブラシホルダに基板を洗浄するブラシ本体を取着してなる基板洗浄用ブラシを収納する収納容器において、上面が開口し、基板洗浄用ブラシの前記ブラシホルダ及び前記ブラシ本体を収容する収容空間を形成する側壁及び底壁を有するとともに、内面側に前記ブラシホルダを支持する支持部が形設された容器本体と、この容器本体の上面開口を閉塞する形状に形成され、容器本体の上面開口を閉塞した状態で容器本体に係合する係合手段を有し、容器本体の上面開口を閉塞した状態において、容器本体に収容された基板洗浄用ブラシの移動を規制もしくは許容範囲で制限する蓋体と、から構成されたことを特徴とする、基板洗浄用ブラシの収納容器。

IPC (3件)：

B65D 85/00 ,  B08B 1/04 ,  H01L 21/304 341

FI (3件)：

B65D 85/00 Z ,  B08B 1/04 ,  H01L 21/304 341 B