特許
J-GLOBAL ID:200903073859132173
電界電子放出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
池田 治幸 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-250318
公開番号(公開出願番号):特開2001-076612
出願日: 1999年09月03日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【課題】高密度に配向させられたナノチューブを有し、電子放出効率の一様性の高いエミッタを備えた電界電子放出装置を提供する。【解決手段】エミッタは、炭化珪素粒子が個々の形状を略保ったまま結合させられた焼結体に真空下で加熱処理を施すことにより、複数本のナノチューブ42および炭素部44を含む複数個の炭素粒子38がその炭素部44相互に接した状態で上面に備えられたブロック36で構成される。そのため、粒子単位で各々の外周面から珪素原子が除去されるため、炭素粒子38の各々に備えられる複数本のナノチューブ42は粒子内部で一体化し、その下側にそれと連続する炭素部44が形成される。また、ブロック36内の炭素粒子38相互の接触部分ではナノチューブ42の生成が妨げられ炭素部44が生成される。この結果、ナノチューブ42を備えた炭素粒子38は導電性の高い炭素部44の相互接触に基づいて相互に導通させられる。
請求項(抜粋):
気密空間内において互いに対向して配置された陰極および陽極間に電圧を印加することにより、その陰極上に設けられたエミッタから電子を放出させる形式の電界電子放出装置において、共有結合性炭化物粒子に真空下で加熱処理を施すことによりその表面の一部に先端が外側に向かうように生成された複数本のカーボン・ナノチューブと、そのカーボン・ナノチューブと導通してその表面の残部に同時に生成された炭素だけから成る導電性の炭素部とを含む複数個のナノチューブ具備粒子を、前記エミッタとして前記陰極上に設けたことを特徴とする電界電子放出装置。
IPC (5件):
H01J 1/304
, C01B 31/02 101
, H01J 9/02
, H01J 29/04
, H01J 31/12
FI (5件):
H01J 1/30 F
, C01B 31/02 101 F
, H01J 9/02 B
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
Fターム (14件):
4G046CA00
, 4G046CB02
, 4G046CC02
, 5C031DD09
, 5C031DD17
, 5C036EE01
, 5C036EE02
, 5C036EE03
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG12
, 5C036EH08
, 5C036EH11
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