特許
J-GLOBAL ID：200903073861774611
水素ガス検知膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
社本 一夫
, 小野 新次郎
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 岡本 芳明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-129338
公開番号（公開出願番号）：特開2008-286542
出願日： 2007年05月15日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】安全性に問題が無く、作製方法が単純で再現性良く作製できる水素ガス検知膜を提供する。【解決手段】石英ガラスなどの透明基板1上に、スパッター法などの蒸着法により、順に、酸化白金層2、触媒金属層3を堆積させ、触媒金属層3として、パラジウムまたは白金を用いる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水素を含んだ雰囲気に曝した時の光の透過率の変化を計測することにより水素ガスの検知を行う光学式水素ガス検知膜であって、基板上に、順に、酸化白金(PtO2)からなる薄膜状の酸化白金層、及び、水素分子を水素原子に解離させるための触媒金属層を堆積させたことを特徴とする水素ガス検知膜。
IPC (4件)：
G01N 31/00
, G01N 31/10
, G01N 21/78
, G01N 21/77
G01N31/00 C
, G01N31/10
, G01N21/78 Z
, G01N21/77 A
2G042AA01
, 2G042BB02
, 2G042DA07
, 2G042FA07
, 2G042FB05
, 2G054AA01
, 2G054CA04
, 2G054EA04
