特許

J-GLOBAL ID：200903073882858505

回転処理装置

発明者： 坂 本 英 二 郎
出願人/特許権者： 平田機工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-164214
公開番号（公開出願番号）：特開2004-014688
出願日： 2002年06月05日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】基板と基板を回転処理する回転処理装置の基板載置部と、搬送される基板と基板を搬送する搬送装置との、静電気の帯電を除去することを目的とする、回転処理装置を提供する。【解決手段】基板と、昇降可能な基板載置部と、前記基板載置部に前記基板を載せて回転しながら処理を施す回転処理部と、前記回転処理部に蓋をする蓋部とを有する回転処理装置における静電気除去手段は、前記基板または、前記基板載置部もしくは、前記基板と前記基板載置部との両方に対して静電気を除去する第一の静電気除去手段と、前記基板載置部に投入または前記基板載置部より取出された前記基板と、前記基板を投入または取出をする基板搬送装置とに対して静電気を除去する第二の静電気除去手段からなり、前記第一の静電気除去手段と前記第二の静電気除去手段は、少なくとも2種類の異なる静電気除去手段からなる事を特徴とする、回転処理装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と、昇降可能な基板載置部と、前記基板載置部に前記基板を載せて回転しながら処理を施す回転処理部と、前記回転処理部に蓋をする蓋部とを有する回転処理装置における静電気除去手段は、 前記基板または、前記基板載置部もしくは、前記基板と前記基板載置部との両方に対して静電気を除去する第一の静電気除去手段と、 前記基板載置部に投入または前記基板載置部より取出された前記基板と、前記基板を投入または取出をする基板搬送装置とに対して静電気を除去する第二の静電気除去手段からなり、 前記第一の静電気除去手段と前記第二の静電気除去手段は、少なくとも2種類の異なる静電気除去手段からなる事を特徴とする、回転処理装置。

IPC (6件)：

H01L21/027 ,  B65G49/06 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/30 ,  H01L21/68 ,  H05F3/04

FI (9件)：

H01L21/30 565 ,  B65G49/06 Z ,  G02F1/1333 500 ,  G03F7/30 502 ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 N ,  H05F3/04 Z ,  H01L21/30 564C ,  H01L21/30 569C

Fターム (35件)：

2H090JA00 ,  2H090JB00 ,  2H090JB01 ,  2H090JB02 ,  2H090JB03 ,  2H090JB11 ,  2H090JC09 ,  2H090JC14 ,  2H096AA28 ,  2H096GA29 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031HA01 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031MA22 ,  5F031MA24 ,  5F031MA27 ,  5F031PA02 ,  5F031PA04 ,  5F031PA08 ,  5F031PA20 ,  5F031PA21 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD10 ,  5F046JA07 ,  5F046JA10 ,  5F046JA25 ,  5F046LA05 ,  5G067AA42 ,  5G067DA01 ,  5G067DA40