特許

J-GLOBAL ID：200903073884766683

紫外線検出素子とそれを用いた紫外線検出方法

発明者： 藤津 悟 ,  石森 史高
出願人/特許権者： 積水化成品工業株式会社
代理人 (1件)： 亀井 弘勝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-341697
公開番号（公開出願番号）：特開平10-182290
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】 紫外線感受材料として酸化亜鉛を使用して、なおかつ従来に比べて紫外線に対する感度が高い、新規な紫外線検出素子と、それを用いた紫外線検出方法とを提供する。【解決手段】 紫外線検出素子1は、単結晶、または結晶軸配向性を有する多結晶の酸化亜鉛の、結晶のa面を、紫外線が照射される受光面11aとした。また上記素子は、酸化亜鉛の結晶の圧電軸であるc軸の方向に電場を印加する電極12、13を有しているのが好ましい。 紫外線検出方法は、上記電極12、13に、酸化亜鉛の結晶の、圧電効果における反共振周波数に相当する周波数の電場を印加しつつ、そのインピーダンスの変化を測定する。

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛の、紫外線照射による光導電効果を利用した紫外線検出素子であって、単結晶、または結晶軸配向性を有する多結晶の酸化亜鉛の、結晶のa面を受光面としたことを特徴とする紫外線検出素子。

IPC (3件)：

C30B 29/16 ,  H01L 31/09 ,  H01L 31/0264

FI (3件)：

C30B 29/16 ,  H01L 31/00 A ,  H01L 31/08 L