特許

J-GLOBAL ID：200903073885525060

露光装置および露光方法

発明者： 塙 哲郎
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-162732
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012524
出願日： 1996年06月24日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 変形照明露光法における焦点深度のパターン依存性を低減する。【解決手段】 異なる種類の第1と第2のパターンを形成するに際し変形照明法を用いる場合、第1のパターンに対する第1の露光を行なった後に、変形照明アパーチャ1を所定角度回転させて、その後に第2のパターンの露光のための第2の露光を行なう。

請求項（抜粋）：

変形照明用のアパーチャ(絞り)を有する露光装置において、露光プロセス中に前記アパーチャを選択的に光軸を中心として回転させる回転機構を備えたことを特徴とする、露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527