特許

J-GLOBAL ID：200903073894287368

圧電共振子、フィルタおよび電子通信機器

発明者： 竹内 雅樹 ,  山田 一 ,  後藤 義彦 ,  野村 忠志 ,  吉野 幸夫
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-240536
公開番号（公開出願番号）：特開2003-051732
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：

【要約】【課題】膜厚比が変動しても温度変化に対する共振応答を安定にする。【解決手段】基板12上に設けられた下層膜14とこの下層膜の上に設けられた積層体とよりなる共振部位20を有し、前記積層体が、上下一対の電極間に少なくとも圧電膜26、中間膜28、圧電膜30を積層して構成されている圧電共振子10であって、共振部位を構成する前記各膜が、基本波に対してn倍波(ただし、nは2以上の整数)で励振される膜厚比に設定されており、かつ、少なくとも一つの膜が正の共振周波数温度係数、少なくとも一つの膜が負の共振周波数温度係数を有し、かつ、中間膜の膜厚設定により当該圧電共振子全体の共振周波数温度係数をほぼゼロに調整ないしは調整可能とされている。

請求項（抜粋）：

上下一対の対向電極間に少なくとも圧電膜を含む1層ないし複数層の内側薄膜が介装され、上側電極の上面か下側電極の下面の少なくとも一方に1層ないし複数層の外側薄膜が存在し、前記各薄膜により共振部位を構成するとともに、前記各薄膜は、少なくとも1つは正の共振周波数温度係数、少なくとも一つは負の共振周波数温度係数を有するとともに、n倍数(ただし、nは2以上の整数)の節が少なくとも前記外側薄膜に存在するような膜厚比に設定されている、ことを特徴とする圧電共振子。

IPC (6件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/58

FI (7件)：

H03H 9/17 F ,  H03H 9/02 N ,  H03H 9/58 Z ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/08 U