特許

J-GLOBAL ID：200903073896882964

光導波路素子とその製造方法

発明者： 江田 和生
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-286584
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222229
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 光伝搬損失が小さく、光ファイバーとの結合損失が小さく、他の光素子や電子素子との集積化が可能な光導波路素子及びその製造方法を提供する。【構成】 誘電体基板、半導体基板やガラス基板などの保持基板1と、その保持基板1に直接接合により接合されたガラス基板2とを備え、そのガラス基板2の内部に光導波路3を有する光導波路素子及びその製造方法。

請求項（抜粋）：

保持基板と、該保持基板に直接接合により接合されたガラス基板とを備え、該ガラス基板は内部に光導波路を有する光導波路素子。

IPC (4件)：

G02B 6/12 ,  C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  H01L 27/15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-223106
  
• 特開昭60-051700
  
• 特開平4-116816
  
• ハイブリッド光集積回路の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-201624   出願人：富士通株式会社