特許

J-GLOBAL ID：200903073898716590

光波面測定方法および装置

発明者： 竹野 耕平 ,  天神林 孝二 ,  白井 智宏
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-171246
公開番号（公開出願番号）：特開2008-002881
出願日： 2006年06月21日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：

【課題】 干渉に利用できる光のパワーを下げることなく高精度の参照波面を生成することが可能で、かつ収差の大きさに依存せずに測定することが可能な波面測定の方法および装置を実現する。【解決手段】 2枚以上の鏡から構成されるファブリ・ペロ干渉計10に光を入射させて入射光とし、入射光のうちファブリ・ペロ干渉計10の最低次の空間モードと共振する成分を透過させて透過光とし、ファブリ・ペロ干渉計10と共振せず反射された収差を含む空間成分を反射光とし、透過光と反射光を干渉させることで収差の情報を含む干渉縞を形成させて入射光の波面の収差を検出することを特徴とする光波面測定装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

2枚以上の鏡から構成されるファブリ・ペロ干渉計に光を入射させて入射光とし、前記入射光のうち前記ファブリ・ペロ干渉計の最低次の空間モードと共振する成分を透過させて透過光とし、前記ファブリ・ペロ干渉計と共振せず反射された収差を含む空間成分を反射光とし、前記透過光と前記反射光を干渉させることで収差の情報を含む干渉縞を形成させて前記入射光の波面の収差を検出する構成であることを特徴とする光波面測定装置。

IPC (2件)：

G01M 11/02 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01M11/02 B ,  G01B9/02

Fターム (18件)：

2F064AA00 ,  2F064EE06 ,  2F064FF01 ,  2F064GG11 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG33 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F064GG44 ,  2F064GG52 ,  2F064GG53 ,  2F064GG68 ,  2F064HH05 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2G086HH06