特許
J-GLOBAL ID：200903073899918048
磁気記録媒体、磁気記録媒体用基板、その研磨方法、装置、および研磨テープ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087797
公開番号（公開出願番号）：特開平11-277339
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：
【要約】【課題】 磁気記録媒体用基板に均一な研磨処理を効率よく施すことが可能な技術を提供する。【解決手段】 研磨テープ4を用いて磁気記録媒体用基板D表面を研磨処理する方法であって、研磨テープ4として、導電性材料からなるテープ本体4a上に、基板D表面を機械的に研磨処理する非導電性材料からなる多数の研磨毛4bを有するものを用い、この研磨テープ4を、研磨毛4bが基板D表面に接触し、かつテープ本体4aが基板D表面に接触しないように基板Dに対して走行させるとともに、研磨テープ4と基板Dの接触部分に電解液を供給しこの電解液中に基板Dからテープ本体4aに向けて電流を流す。
請求項（抜粋）：
研磨テープを用いて磁気記録媒体用基板表面を研磨処理する磁気記録媒体用基板の研磨方法であって、研磨テープとして、導電性材料からなるテープ本体上に、基板表面を機械的に研磨処理する非導電性材料からなる多数の研磨毛を有するものを用い、この研磨テープを、研磨毛が基板表面に接触し、かつテープ本体が基板表面に接触しないように基板に対して走行させるとともに、研磨テープと基板の接触部分に電解液を供給しこの電解液中に基板からテープ本体に向けて電流を流すことを特徴とする磁気記録媒体用基板の研磨方法。
IPC (5件)：
B23H 5/00
, B24B 21/00
, B24D 11/00
, C25F 3/16
, G11B 5/84
B23H 5/00 J
, B24B 21/00 B
, B24D 11/00 F
, C25F 3/16 D
, G11B 5/84 A
