外観検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-119769
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331562
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】透過光検査、散乱光検査、鏡面反射光検査などの複数種類の検査可能な外観検査装置であって、受光素子の数を少なくし、もって廉価な装置とする。【構成】透過光検査、散乱光検査、鏡面反射光検査の可能な外観検査装置であって、被検査体を載置し、検査位置に対して被検査体を走査可能に移動する被検査体テーブル、検査位置に対して斜め上の位置に配置された光源A、検査位置に対して真下の位置に配置された光源B、検査位置に対して真上の位置に配置された受光素子A、検査位置に対して前記光源Aと対称な斜め上の位置に配置された受光素子Bを具備し、前記の光源Aおよび受光素子Aで散乱光検査を行ない、かつ光源Bと受光素子Aで透過光検査を行ない、光源Aと受光素子Bで鏡面反射光検査を行なうよう構成された外観検査装置。

請求項（抜粋）：

透過光検査、散乱光検査、鏡面反射光検査の可能な外観検査装置であって、被検査体(M)を載置し、検査位置(P)に対して被検査体を走査可能に移動する被検査体テーブル(10)、検査位置に対して斜め上の位置に配置された光源A(20)、検査位置に対して真下の位置に配置された光源B(22)、検査位置に対して真上の位置に配置された受光素子A(30)、検査位置に対して前記光源A(20)と対称な斜め上の位置に配置された受光素子B(32)を具備し、前記の光源A(20)および受光素子A(30)で散乱光検査を行ない、かつ光源B(22)と受光素子A(30)で透過光検査を行ない、光源A(20)と受光素子B(32)で鏡面反射光検査を行なうよう構成された外観検査装置。

IPC (6件)：

G01N 21/88 , G01B 11/24 , G01N 21/47 , G01N 21/55 , G01N 21/59 , H01J 29/81

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