特許
J-GLOBAL ID:200903073903968691
インクジェットヘッド及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
稲元 富保
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-160354
公開番号(公開出願番号):特開2000-343693
出願日: 1999年06月08日
公開日(公表日): 2000年12月12日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 静電型イングジェットヘッドにおいて、個別電極及び共通電極と外部駆動回路との実装時の工程の簡単化によるヘッド製造におけるスループットの向上、及び接合されたシリコン基板を各ヘッドに分割するダイジング工程の際にギャップ内へのダストを含んだ水等が毛管現象で浸入することを防止することによる歩留まりの向上、さらに高密度化、小型化可能で長期信頼性にも優れたインクジェトヘッド及びその製造方法の提供。【解決手段】 振動板/液室基板1の振動板11側に個別電極13を設け、共通電極基板2を共通電極とした。
請求項(抜粋):
インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の隔壁の一部を構成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板と電極との間に発生させる静電気力で前記振動板を変形させてインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記振動板側を個別電極とし、前記電極を共通電極としたことを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
FI (2件):
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
Fターム (22件):
2C057AF33
, 2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG54
, 2C057AG90
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP22
, 2C057AP24
, 2C057AP25
, 2C057AP27
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AP34
, 2C057AP42
, 2C057AP56
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA15
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