特許

J-GLOBAL ID：200903073907044206

多層膜分光反射鏡

発明者： 竹中 久貴 ,  川村 朋晃 ,  石井 芳一
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-010254
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203798
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【構成】 ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子の金属からなる重元素層とSiからなる軽元素層との間にSiとCからなる化合物中間層を使用したことを特徴とする多層膜分光反射鏡。【効果】 本発明の多層膜は、中間層の無い金属/Siを用いた多層膜に比較して耐熱性が向上している。

請求項（抜粋）：

ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子の重元素層と軽元素層との間にSiとCからなる化合物中間層を使用したことを特徴とする多層膜分光反射鏡。