固体電解コンデンサの製法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝日奈宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235910
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084709
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】固体電解コンデンサの誘電体膜内の結晶や損傷などの潜在的欠陥を顕在化させて取り除き、エージング処理を省略し、かつ、リーク電流に対する信頼性を向上する製法を提供する。【構成】タンタル焼結体1に五酸化タンタルの誘電体膜3を形成したのち、300 〜400 °Cで2〜30分間空気加熱し、その上に二酸化マンガンからなる電解質層6を形成したのち、さらに300 〜400 °Cで2〜30分間、空気加熱し、その上にグラファイト層9および銀層12を形成する。耐圧試験では電極間に環境温度85〜125 °Cで定格の2〜3.5 倍のパルス電圧を印加する。

請求項（抜粋）：

(a)コンデンサの電極材料としてのタンタル、アルミニウムまたはニオブの金属材料に誘電体膜を形成する化成処理工程、(b)形成された誘電体膜上に電解質層を形成する工程、(c)前記誘電体膜上の損傷を修復する再化成処理工程、(d)電解質層上に電極を設ける電極形成工程、および(e)電極間に電圧を加えてショートの有無を検出する耐圧検査工程を有する固体電解コンデンサの製法であって、前記化成処理工程および(または)再化成処理工程ののちに、300 〜400 °Cで加熱することを特徴とする固体電解コンデンサの製法。

IPC (4件)：

H01G 9/04 301 , H01G 9/04 307 , H01G 13/00 361 , H01G 13/00 371

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-225512
特開昭55-165622
特開平2-267915

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