特許

J-GLOBAL ID：200903073916606187

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 河辺 保雅
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-327358
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131914
出願日： 2000年10月26日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 露光光源として、深紫外線、特にArFエキシマレーザー光を用いた場合、ラインエッジラフネスが改善され、感度、解像力、レジスト形状、疎密依存性が優れたポジ型レジスト組成物を提供できる。【解決手段】 環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、化合物式(I)(II)又は(III)及び、フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)下記一般式(I)又は(II)で表される化合物、及び、(D)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(一般式(I)において、R1、R2、R5、R6、R7、R8、R11及びR12は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、叉は炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。R3、R4、R9及びR10は炭素数1〜4のアルキル基を表す。Xは水素原子を表す。もしくは、XはR1と連結し二価の基を形成してもよい。Yは水素原子または【化2】を表す。ここで、R13、R14、R16及びR17は、各々独立に、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、叉は炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。R13叉はR17は、R6叉はR7と連結し二価の基を形成してもよい。R15は、水酸基、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基、叉は炭素数2〜4のジアルキルアミノ基を表す。一般式(II)において、R18〜R27は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、叉は炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。また、R22とR23が連結し二価の基を形成しても良い。)

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/04 ,  C08K 5/17 ,  C08L101/12 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/04 ,  C08K 5/17 ,  C08L101/12 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (45件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025DA34 ,  2H025FA17 ,  4J002AA031 ,  4J002BG031 ,  4J002BG071 ,  4J002BH021 ,  4J002BK001 ,  4J002CE001 ,  4J002EB006 ,  4J002EC037 ,  4J002EF097 ,  4J002EN029 ,  4J002EN037 ,  4J002EN047 ,  4J002EN049 ,  4J002EN077 ,  4J002EN079 ,  4J002EN099 ,  4J002EN136 ,  4J002EN139 ,  4J002EQ016 ,  4J002EU049 ,  4J002EU119 ,  4J002EU139 ,  4J002EV216 ,  4J002EV296 ,  4J002EW176 ,  4J002FD206 ,  4J002FD209 ,  4J002FD318 ,  4J002GP03