特許

J-GLOBAL ID：200903073920454316

酸化物磁性層と金属磁性膜を積層した磁気抵抗効果素子

発明者： 星屋 裕之 ,  添谷 進 ,  目黒 賢一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-216125
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031867
出願日： 2001年07月17日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：

【要約】【課題】従来の金属磁性膜からなる磁気抵抗効果積層膜では十分な再生出力が得られなかった。【解決手段】非磁性層中間層界面に接して10nm以下の厚さの高分極率層を、FeリッチなFe-O層として形成し、熱処理によって強磁性Fe-O層の積層膜とし、これによって高い磁気抵抗効果を有する磁気抵抗効果素子を得る。

請求項（抜粋）：

非磁性中間層を介して分離した少なくとも二層の強磁性層による強磁性層/非磁性中間層/強磁性層の積層構成を有し、外部の磁界に応じて上記強磁性層の互いの磁化の相対角度が変わって上記積層構成が磁気抵抗効果を生じる部材と、上記抵抗変化を検出するための少なくとも一対の電極を有する磁気抵抗効果素子において、少なくとも一方の強磁性層が高分極率層からなり、少なくとも一方の非磁性中間層/強磁性層界面が非磁性中間層/高分極率層の構成を有していて、上記高分極率層が主にハーフメタルなどの強磁性化合物もしくは強磁性化合物と金属の混合体からなることを特徴とする磁気抵抗効果素子。

IPC (6件)：

H01L 43/08 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/39 ,  H01F 10/30 ,  H01F 10/32 ,  H01L 43/12

FI (6件)：

H01L 43/08 Z ,  G11B 5/39 ,  H01F 10/30 ,  H01F 10/32 ,  H01L 43/12 ,  G01R 33/06 R

Fターム (17件)：

2G017AA01 ,  2G017AD55 ,  2G017AD65 ,  5D034BA03 ,  5D034BA04 ,  5D034BA08 ,  5D034CA08 ,  5D034DA07 ,  5E049AA01 ,  5E049AA04 ,  5E049AA07 ,  5E049AC00 ,  5E049AC05 ,  5E049BA06 ,  5E049CB02 ,  5E049DB12 ,  5E049GC01