特許

J-GLOBAL ID：200903073921737265

基板供給装置

発明者： 中村 元
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139019
公開番号（公開出願番号）：特開平6-329218
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：

【要約】【目的】 露光装置へレチクルを供給する工程に要する時間を短縮する。【構成】 カセットAは、レチクル名ごとに収納棚1の指定されたスロット11〜40に収納される。露光装置4からコンピュータ6に指令信号が送られると、エレベータ2aおよびロボット2bが駆動され、カセットハンド2によって所定のスロットからカセットが取りだされて露光装置へ供給される。収納棚1からカセットが取りだされるごとに、使用レチクルリスト8にレチクル名が記憶され、レチクル使用履歴リスト9にその供給回数が集計され、使用回数の多いレチクル名の順に、カセットハンド2の移動距離が短くてすむスロットが指定される。

請求項（抜粋）：

それぞれ所定の基板名の基板を入れた複数の基板収容容器を個別に収納自在な複数のスロットを有する収納手段と、該収納手段に収納された基板収容容器を搬出する搬出手段と、搬出された基板収容容器の数を各基板名ごとに集計する集計手段と、集計された基板収容容器の数に基づいて各基板名ごとに前記スロットのうちの少くとも1つを指定する指定手段からなる基板供給装置。

IPC (3件)：

B65G 1/137 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-042429
  
• 特開昭61-197304
  
• 特開昭61-203005