特許
J-GLOBAL ID：200903073928161296
高周波圧電デバイスの構造および製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-192414
公開番号（公開出願番号）：特開2001-024467
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 ウェハ上にマトリクス状に配列された高周波圧電振動子の周波数を正確に計測する手段を得る。【解決手段】 凹陥部を有する圧電基板に対向する電極を付着して構成する高周波圧電振動子で、前記電極の一方から延在するリード電極の基板端部寄りに電極パッドとその先に小さな凹陥溝を形成すると共に、前記電極パッドとほぼ対称な位置に電極パッドを設け、該電極パッドと基板の側壁面を経て対向する側の電極と導通をる。
請求項（抜粋）：
圧電基板の一方の主面を凹陥し、該凹陥部により形成される薄肉部に相対向する電極を付着してなる高周波圧電デバイスにおいて、前記対向する電極の一方から延在するリード電極の前記基板端部近傍に電極パッドを設け、該電極パッド近傍の凹陥側圧電基板に溝を形成したことを特徴とする高周波圧電デバイスの構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/19 A
, H03H 3/02 C
5J108BB02
, 5J108CC01
, 5J108CC04
, 5J108CC09
, 5J108DD02
, 5J108FF07
, 5J108KK01
, 5J108MM11
