特許
J-GLOBAL ID：200903073928537547
アルケニルフェノール系共重合体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣田 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-155762
公開番号（公開出願番号）：特開平11-349627
出願日： 1998年06月04日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：
【要約】【課題】 フェノール残基の水酸基が飽和脂肪族系保護基により保護された化合物と、(メタ)アクリル酸エステルと、必要に応じて用いられるビニル芳香族化合物とを共重合させて得られる共重合体から、ESCAP型レジスト用として有用な、実質的に(メタ)アクリル酸骨格を含まないアルケニルフェノール系共重合体の製造方法を提供すること。【解決手段】 一般式(I)で表されるフェノール残基の水酸基が飽和脂肪族系保護基により保護された化合物と、t-ブチル(メタ)アクリレートと、必要に応じて用いられるビニル芳香族化合物とを共重合させて得られるランダム共重合体やブロック共重合体から、XHSO4(式中、Xはアルカリ金属を表す)で表される重硫酸カリウム塩等を用いて、飽和脂肪族系保護基を選択的に脱離させる。【化1】
請求項（抜粋）：
下記一般式(I)【化1】(式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は炭素数が1〜6のアルキル基を表す)で表されるフェノール残基の水酸基が飽和脂肪族系保護基により保護された化合物と、アクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルとを共重合させて得られる共重合体から、飽和脂肪族系保護基を脱離させてアルケニルフェノール系共重合体を得る方法において、脱離剤として下記一般式(II)XHSO4 ......(II)(式中、Xはアルカリ金属を表す)で表される重硫酸塩を用いることを特徴とするアルケニルフェノール系共重合体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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