特許
J-GLOBAL ID：200903073931103108
硬質被覆層の成膜速度が速い表面被覆切削工具の製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-293949
公開番号（公開出願番号）：特開平10-140337
出願日： 1996年11月06日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：
【要約】【課題】 硬質被覆層の成膜速度が速い表面被覆切削工具の製造法を提供する。【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメット、酸化アルミニウム基セラミックス、窒化珪素基セラミックス、および高速度工具鋼のいずれかで構成された基体の表面にアークイオンプレーティング法を用いて硬質被覆層を物理蒸着する表面被覆切削工具の製造法において、アノード電極とカソード電極(蒸発源)の間に発生させるアーク放電を周期的断続放電とし、この放電条件を、1サイクルの時間:0.4〜2000マイクロ秒、1サイクル中の放電時間:0.2〜1000マイクロ秒、および1サイクル中の最大放電電圧:100〜200Vとする。
請求項（抜粋）：
炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメット、酸化アルミニウム基セラミックス、窒化珪素基セラミックス、および高速度工具鋼のいずれかで構成された基体の表面にアークイオンプレーティング法を用いて硬質被覆層を物理蒸着する表面被覆切削工具の製造法において、アノード電極とカソード電極(蒸発源)の間に発生させるアーク放電を周期的断続放電とし、この放電条件を、1サイクルの時間:0.4〜2000マイクロ秒、1サイクル中の放電時間:0.2〜1000マイクロ秒、1サイクル中の最大放電電圧:100〜200V、としたことを特徴とする硬質被覆層の成膜速度が速い表面被覆切削工具の製造法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/32 B
, B23B 27/14 A
