特許

J-GLOBAL ID：200903073933437429

LCDパネル検査装置及びこの装置を用いたLCDパネル検査方法

発明者： 加藤 晴夫
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049047
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220014
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 高精度・高分解能のLCDパネル検査装置とこの装置を用いた検査方法を提供する。【構成】 1対の高感度ラインセンサ25と高輝度ライン光源26を用いて被測定LCDパネルを挟み込み、X方向又はY方向の正確な位置をデジタルスケールで確認し位置決め手段31で位置決めしながらスキャナ制御部22からの移動手段制御信号41でスキャンし、被測定LCD素子ラインの検査データ信号43をデータ処理部23が受信してデータ処理し、モニタ24に表示する構成とし、検査を行う前に1度全範囲をスキャンしてLCD素子ラインの各ラインのアドレスを設定してから検査を行う検査方法である。

請求項（抜粋）：

被測定LCDパネル(10)を載置する測定台(11)と、デジタルスケールにより位置決めする位置決め手段(31)を有する移動手段(30)と、上記被測定LCDパネル(10)を挟む構造で設置された1対のラインセンサ(25)及びライン光源(26)と、アドレス計算回路(32)とアドレス記憶器(33)とキャリブレータ(34)を有し、上記移動手段(30)の移動を移動手段制御信号(40)で制御するスキャナ制御部(22)と、ドライバ回路(35)と検査データ入力回路(36)を有し、上記被測定LCDパネル(10)をLCD素子駆動信号(42)で駆動して特定画像を表示させ、上記ラインセンサ(25)から検査データ信号(43)を得てデータ処理するデータ処理部(23)と、上記データ処理部(23)で処理された画像データを受けて表示するモニタ(14)と、を具備することを特徴とするLCDパネル検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G01R 31/00

FI (3件)：

G01N 21/88 F ,  G01M 11/00 T ,  G01R 31/00