特許

J-GLOBAL ID：200903073946000160

ガス濃度測定装置

発明者： 上原 喜代治 ,  田井 秀男
出願人/特許権者： 東京瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-269119
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079976
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】 大気の温度や圧力によらずガスの濃度を正確に測定すること。【構成】 レーザ変調兼制御器5により波長が所定の周波数fで変調されかつ吸収線の中心に安定化制御された半導体レーザ素子14から出射したレーザ光が、測定用セル3内の大気を通過したのち受光器6により受光されてその強度が電気信号に変換され、位相敏感検波器8で得られる2倍波位相敏感検波信号I2f を、位相敏感検波器7により得られる基本波位相敏感検波信号Ifで割算器9を使って割り算して濃度を求める際、レーザの変調振幅を吸収線の半値半幅のほぼ2.2倍に設定することにより、I2f が圧力にほとんど依存しないようにするとともに、温度センサ12で測定した温度により信号処理器13が濃度に補正を施すことができる。

請求項（抜粋）：

レーザ光を所定の周波数と振幅とを有する変調電流により変調する変調手段と、濃度を測定すべきガスを含む大気が流入しかつ流入した該大気中を前記レーザ光が通過するように形成された測定用セルと、該測定用セル内の温度を検知する温度センサと、前記測定用セル内の大気を通過した後のレーザ光を受光する受光器と、該受光器の出力から基本波位相敏感検波信号を出力する第1の位相敏感検波器と、前記受光器の出力から2倍波位相敏感検波信号を出力する第2の位相敏感検波器と、前記2倍波位相敏感検波信号の値を前記基本波位相敏感検波信号の値で割り算することにより前記ガスの濃度を算出する割算器と、前記温度センサで測定した温度により前記濃度に補正を施す信号処理器とを備え、前記変調手段は、前記2倍波位相敏感検波信号の値が極大値をとるように前記変調電流の振幅を最適値に設定できることを特徴とするガス濃度測定装置。

IPC (3件)：

G01N 21/39 ,  G01N 21/61 ,  G01N 31/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-235835
  
• 特開昭63-275935
  
• 特開昭61-097552