特許
J-GLOBAL ID：200903073951170502
マイクロレンズアレイ基板の製造方法、液晶パネルおよび投射型表示装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-245996
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074913
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 液晶プロジェクター等に用いたときに明るさむらが生じにくいマイクロレンズアレイ基板の製造方法を提供すること。【解決手段】 マイクロレンズ101Aを形成する際に、母材本来の厚さを局所的に保持することにより、第1の基板100Aと第2の基板200Aとの距離を規制するスペーサー500Aを形成する。まず、第1の基板100Aに、第1マスク10Aを形成する。次に、マイクロレンズ101Aに対応する第2マスク110Aを形成する。次に、第2マスク110Aをレンズ形状にリフローする。次に、ウエットエッチングにより第1マスク10Aをスペーサー500Aの形状に整形する。次に、第1の基板100Aに対してドライエッチングを施し、凸形状のマイクロレンズ101Aおよびスペーサー500Aを同時に形成する。次に、第1マスク12Aを除去した後、第2の基板200Aを第1の基板100Aに接合する。
請求項（抜粋）：
多数のマイクロレンズを有する第1の基板と、第2の基板とを、中間層を介して接合してなるマイクロレンズアレイ基板を製造するに際し、第1の基板となる母材にエッチングを施して、多数のマイクロレンズを形成するとともに、前記マイクロレンズの形成領域外に、前記第2の基板に当接するスペーサーを形成し、次いで、該スペーサーを用いて前記第1の基板と前記第2の基板とを接合した後、前記スペーサーを含む部分を除去することを特徴とするマイクロレンズアレイ基板の製造方法。
IPC (4件)：
G02B 3/00
, G02B 1/10
, G02F 1/13 505
, G02F 1/1335
G02B 3/00 A
, G02F 1/13 505
, G02F 1/1335
, G02B 1/10 Z
2H088EA15
, 2H088HA25
, 2H088MA04
, 2H091FA29Y
, 2H091FA34Y
, 2H091FC26
, 2H091FD06
, 2H091GA03
, 2H091GA16
, 2H091LA18
, 2H091MA07
, 2K009BB02
, 2K009CC02
, 2K009DD04
, 2K009EE03
