特許

J-GLOBAL ID：200903073952564458

基板重ね合わせ方法及び基板重ね合わせ装置

発明者： 古川 泰男 ,  松枝 準
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-351072
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183860
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、基板上に設けられたマークを観測する際、顕微鏡の移動誤差による影響を受けることなく、2枚の基板を精度良く重ね合わせることができる基板重ね合わせ方法及び基板重ね合わせ装置を提供することを課題とする。【解決手段】 基板重ね合わせ装置1は、基板搭載手段を構成するステージ10、画像読取手段を構成するCCD22を備えた顕微鏡21R、21L及び画像処理部31、顕微鏡位置制御部32、顕微鏡駆動部33、マーク位置算出手段を構成するマーク位置算出部34、補正量算出手段を構成する顕微鏡誤差補正テーブル35及びマーク位置補正量算出部36、マーク位置補正手段を構成するマーク位置補正部37、基板位置ずれ算出部38、駆動制御手段を構成するステージ駆動制御部39及びステージ駆動部40を有して構成されている。

請求項（抜粋）：

2枚の基板の各々に設けられたマークの位置を画像読取系により読み取り、該基板相互を所定の位置関係に保持して重ね合わせる基板重ね合わせ方法において、第1の基板に設けられた第1のマークの位置を前記画像読取系により読み取る工程と、前記画像読取系を移動して、第2の基板に設けられた第2のマークの位置を読み取る工程と、前記画像読取系の移動時に生じる移動誤差に相当する補正量を算出する工程と、前記補正量に基づいて、前記画像読取系により読み取られた前記第1及び第2のマーク間の相対位置に含まれる、前記画像読取系の移動誤差を補正する工程と、を含むことを特徴とする基板重ね合わせ方法。

IPC (4件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 ,  G06T 7/00 ,  G09F 9/00 341

FI (4件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 ,  G09F 9/00 341 ,  G06F 15/62 405 C