特許
J-GLOBAL ID：200903073952723343
レーザ干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222709
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062115
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】新規な構成にて屈折率や距離の測定を行うことができるレーザ干渉計を提供する。【解決手段】タイミングコントローラ12は基準電圧発生器10を制御して2種類の基準電圧を繰り返し出力させ、加算器11はファンクションジェネレータ9からのノコギリ波信号と基準電圧とを加算して駆動信号を出力する。レーザダイオード1は駆動信号にて動作し、レーザ光が第2のロッドレンズ6の平滑なる照射面6aから媒質中のミラー8に向けて照射される。第2のロッドレンズ6の照射面6aでの反射光とミラー8に反射したレーザ光とが干渉し、この干渉後のレーザ光がフォトディテクタ15にて電気信号に変換され、位相検出器19,メモリ14,ECU13によりフォトディテクタ15による電気信号から駆動信号による信号位相差が算出され、位相差から媒質の屈折率nが求められる。
請求項（抜粋）：
少なくとも一部に一定の傾きを有する波形に対し異なるレベルに周期的に変化させた駆動信号を入力して、この駆動信号により発光動作するレーザ発光素子と、前記レーザ発光素子の発するレーザ光を平滑なる照射面から媒質中の反射体に向けて照射するレンズ体と、前記レンズ体の照射面での反射光と前記反射体に反射したレーザ光との干渉後のレーザ光を入力して電気信号に変換する検出器と、前記検出器による電気信号から、異なるレベルに周期的に変化させた駆動信号による信号位相差を算出する位相差算出手段と、前記位相差算出手段による位相差からレンズ体と反射体との距離または媒質の屈折率を求める演算手段とを備えたことを特徴とするレーザ干渉計。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01J 9/02
, G01N 21/45
G01B 9/02
, G01J 9/02
, G01N 21/45 A
