特許

J-GLOBAL ID：200903073954286102

ポジ型熱硬化感光性組成物

発明者： 堤 義高 ,  田中 哲夫 ,  宮村 裕之 ,  長谷川 正積
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-244769
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104464
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 段差上での塗布性が良好である固体撮像素子、液晶素子等の製造時に用いられるポジ型熱硬化感光性組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感光剤、熱硬化剤、溶媒及び界面活性剤からなるポジ型熱硬化感光性組成物において、界面活性剤が弗素系界面活性剤及び/又はシリコン系界面活性剤とアクリル系オリゴマーとの混合物からなるポジ型熱硬化感光性組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、感光剤として1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、熱硬化剤としてパターニング後の加熱処理により耐熱性及び耐薬品性を付与させる熱硬化剤、溶媒並びに界面活性剤からなるポジ型熱硬化感光性組成物において、該界面活性剤が弗素系界面活性剤及び/又はシリコン系界面活性剤とアクリル系オリゴマーとの混合物であることを特徴とするポジ型熱硬化感光性組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/022 ,  G02B 1/04 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/023 511