特許

J-GLOBAL ID：200903073964206824

真空ポンプにより吸引されるエンクロ-ジャ内の圧力調整を確保するためのシステム

発明者： ジヤン・フイリツプ・ブリトン ,  テイエリー・ニール
出願人/特許権者： アルカテル
代理人 (1件)： 川口 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000751
公開番号（公開出願番号）：特開平11-257278
出願日： 1999年01月05日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 より低コストで、より空間所要体積が小さいエンクロージャ内の圧力の調整を確保するシステムを提供する。【解決手段】 モータ駆動可変開口弁(6)を具備する管路(5)が、ポンプの吐出側に近い単数または複数の段(8)を、ポンプの吸い込み側に近い単数または複数の段(9)に接続し、弁(6)の開口度が、設定値P1に容器(1)の圧力Pをサーボ制御する電子回路(11)からの信号(10)により制御され、前記電子回路(11)が、エンクロージャ内で測定された圧力P(13)を示す信号(12)を入力部で受信することを特徴とする真空ポンプ(3)により吸引される。

請求項（抜粋）：

モータ駆動可変開口弁(6)を具備する管路(5)が、ポンプの吐出側に近い単数または複数の段(8)を、ポンプの吸い込み側に近い単数または複数の段(9)に接続し、弁(6)の開口度が、設定値P1にエンクロージャ(1)の圧力Pをサーボ制御する電子回路(11)からの信号(10)により制御され、前記電子回路(11)が、エンクロージャ内で測定された圧力P(13)を示す信号(12)を入力部で受信することを特徴とする真空ポンプ(3)により吸引されるエンクロージャ(1)内の圧力の調整を確保するためのシステム。