特許

J-GLOBAL ID：200903073965297963

CVD装置

発明者： 辻 洋一郎 ,  桑木 克範
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-005452
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190456
出願日： 1992年01月16日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】 排気部に付着された生成物の除去を怠っても、該生成物による被処理物への汚染を防止できる。【構成】 排気管8を備える排気部を一端に有した円筒形の石英管1と、この石英管の少なくとも前記排気部を除く部分の周囲に備えられたヒータ部2とを有し、前記石英管の排気部は他の残りの部分に対して分離およびゴム材からなるO-リング9を介した接続ができるとともに、前記O-リングの劣化防止用の冷却手段10をその周囲に備えるCVD装置において、前記石英管内にこの石英管にほぼ同軸配置された内挿石英管13を備え、この内挿石英管は、少なくとも前記排気部との接続部に位置付けられているとともに、前記排気管にほぼ同軸に位置付けられる排気口14を備えている。

請求項（抜粋）：

排気管を備える排気部を一端に有した円筒形の石英管と、この石英管の少なくとも前記排気部を除く部分の周囲に備えられたヒータ部とを有し、前記石英管の排気部は他の残りの部分に対して分離およびゴム材からなるO-リングを介した接続ができるとともに、前記O-リングの劣化防止用の冷却手段をその周囲に備えるCVD装置において、前記石英管内にこの石英管にほぼ同軸配置された内挿石英管を備え、この内挿石英管は、少なくとも前記排気部との接続部に位置付けられているとともに、前記排気管にほぼ同軸に位置付けられる排気口を備えていることを特徴とするCVD装置。