特許
J-GLOBAL ID：200903073968561459
ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-189976
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011471
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 センサの性能劣化を調べて補正を行なう手段をセンサ自体に与えることにより簡単に感度を補正し、補正できないほど性能が劣化した場合には、別の検出部に切替えることによって、寿命が長く信頼性の高いセンサを提供する。【構成】 同一のシリコンチップ1上に複数のガス検出部31〜34を有し、そのうちの少なくとも1つ(31)を測定用検出部、他の1つ(34)を補正用検出部として使用するガスセンサ素子を有し、前記測定用検出部31の出力と補正用検出部34の出力とを比較し、その出力に応じて前記測定用検出部の感度特性Rbを補正する。
請求項（抜粋）：
同一のチップ上に複数のガス検出部を有し、そのうちの少なくとも1つを測定用検出部、他の1つを補正用検出部とするガスセンサ素子と、前記測定用検出部の出力と補正用検出部の出力とを比較し、その出力に応じて前記測定用検出部の感度特性を補正する補正回路とを有することを特徴とするガスセンサ。
IPC (2件)：
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