特許

J-GLOBAL ID：200903073974041505

可撓性のある薄膜太陽電池の製造方法

発明者： 川西 康義 ,  水村 孝之 ,  沢田 謙司 ,  若宮 要範 ,  海道 佳典 ,  勝部 浩司
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-120698
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315630
出願日： 1992年05月13日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 耐熱ベース基板を支持基板から簡単に剥離できるようにして、信頼性の高い薄膜太陽電池を製造する。【構成】 支持基板1の上に耐熱ベース基板2を設け、耐熱ベース基板2の上に、両面に電極層に積層するアモルファスシリコン層4を形成する。耐熱ベース基板2を、剥離樹脂層2Aとベースシート2Bとの2層に分離し、支持基板1の上に剥離樹脂を塗布して剥離樹脂層2Aを設け、剥離樹脂層2Aを介して支持基板1にベースシート2Bを接着し、ベースシート2Bの上に、両面に電極層を積層したアモルファスシリコン層4を形成し、剥離樹脂層2Aでもってベースシート2Bを支持基板1から剥離する。【効果】 剥離樹脂層で剥離性を改善し、ベースシートで薄膜太陽電池の信頼性を向上させる。

請求項（抜粋）：

支持基板(1)の上に、耐熱ベース基板(2)を設け、耐熱ベース基板(2)の上に、両面に電極層に積層するアモルファスシリコン層(4)を形成した後、耐熱ベース基板(2)を支持基板(1)から剥離して薄膜太陽電池を製造する方法において、耐熱ベース基板(2)を剥離樹脂層(2A)とベースシート(2B)との2層に分離し、支持基板(1)の上に未硬化の剥離樹脂を塗布して硬化させて剥離樹脂層(2A)を設け、この剥離樹脂層(2A)を介して支持基板(1)にベースシート(2B)を接着し、ベースシート(2B)の上に、両面に電極層を積層したアモルファスシリコン層(4)を形成し、剥離樹脂層(2A)でもってベースシート(2B)を支持基板(1)から剥離するように構成されたことを特徴とする可撓性のある薄膜太陽電池の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭63-261761