特許

J-GLOBAL ID：200903074002802600

固体製造装置

発明者： 小杉 哲也 ,  福田 重夫 ,  前瀬 和顕
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-128511
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321636
出願日： 1997年05月19日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 固体装置の製造に使用される容器に含まれる所望の元素ガスの濃度を検出しない期間に、濃度計が内部リークによって誤動作してしまうことを防止することができるとともに、上記容器に含まれる所望のガスの濃度の検出に要する時間を短縮することができるようにする。【解決手段】 H2 アニール装置300は、反応容器301と、O2 濃度計305と、O2 濃度計305に反応容器301の雰囲気を導くための濃度検出配管306と、濃度検出配管306を遮断するためのエアバルブ307と、O2 濃度計306にN2 ガスを導くためのN2 ガス導入配管308と、N2 ガス導入配管308を遮断するためのエアバルブ309と、エアバルブ307,309の開閉を制御するための制御部311とを有し、反応容器301のO2 濃度を検出する場合は、エアバルブ307,309をそれぞれ開状態、閉状態に設定し、検出しない場合は、それぞれ閉状態、開状態に設定するようになっている。

請求項（抜粋）：

固体装置の製造に使用される容器に含まれる所望の元素ガスの濃度を検出するための濃度計と、この濃度計に前記容器に含まれる雰囲気を導くための第1の配管と、この第1の配管を遮断するための第1の遮断弁と、前記第1の配管に対し、前記第1の遮断弁と前記濃度計との間で接続され、前記濃度計に不活性ガスを導くための第2の配管と、この第2の配管を遮断するための第2の遮断弁とを備えたことを特徴とする固体製造装置。

IPC (2件)：

H01L 21/324 ,  H01L 21/22 511

FI (2件)：

H01L 21/324 R ,  H01L 21/22 511 S