特許
J-GLOBAL ID：200903074003154873

走査顕微鏡装置

発明者：
大井 將道

大井 將道 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-344817
公開番号（公開出願番号）：特開2001-160371
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：
【要約】【課題】 混乱を起こすことなく、又、目標物を見失うことなく試料ステージ操作する。【解決手段】 画像を表示している画面と同一の画面上にあるステージ操作パネルをスキャンローテーションの回転角度に常に連動して回転して表示し、ステージ操作パネル内のXY操作ボタン3〜6のマークの向きを同時に反転して表示でき、それに連動してXYステージが動く方向をそれぞれ反転する。
請求項（抜粋）：
試料上でプローブを走査して得られる情報を画像を画面上に表示する各種走査顕微鏡装置において、画像を表示している画面と同一の画面上にあるステージ操作パネルをスキャンローテーションの回転角度に連動して回転して表示する機能を有することを特徴とする走査顕微鏡装置。
Fターム (2件)：
5C001AA03 ,  5C001CC04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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