特許

J-GLOBAL ID：200903074010737795

表面欠陥検査装置

発明者： 吉 田 清 ,  臼 井 徳 貴
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (1件)： 小塩 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-012306
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214101
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 被検査体の被検査面に、汚れ、しみ、埃等があったとしても誤検出することなく、微小な凹凸や突起などの表面欠陥のみを精度よく、高能率に検出することができる。【解決手段】 照明手段1から所定の入射角度αで照射され、被検査表面からαよりも小さい所定の反射角度βで反射される乱反射光を受光するように配置された撮像手段2により形成された受光画像の輝度の濃度投影演算に基づいて検査領域判定手段10が検査領域を判定し、撮像手段2による受光画像から検出された孤立点のうち検査領域内にあるもののみを欠陥候補抽出手段11によって欠陥候補として抽出し、欠陥候補総数が所定値よりも少ないパネルPのみを表面状態が良好とみなして、時系列の欠陥候補の移動量および移動方向が所定の条件内で一致する照合回数情報、近傍マッチング有無に関する情報、および欠陥候補の面積情報に基づいて、本当の表面欠陥を油の付着むらなどによる誤検出情報から識別する。

請求項（抜粋）：

相対的に移動する被検査体の被検査面に対して被検査面の一方側斜め上方から所定の入射角度で照明光を照射する照明手段と、被検査面の他方側斜め上方において前記照明光の入射角度よりも小さい反射角度で反射される乱反射光を受光する所定の撮像角度に配置されて被検査面からの反射光に基づいて受光画像を形成する撮像手段と、前記撮像手段により得られる受光画像から被検査面の検査領域を判定する検査領域判定手段と、前記撮像手段により得られる受光画像と前記検査領域判定手段により得られる検査領域判定結果から被検査面上の表面欠陥と共に埃などの異物および油付着むらを欠陥候補として抽出する欠陥候補抽出手段と、前記欠陥候補抽出手段により得られる欠陥候補総数から被検査面の表面状態の良否を判定する検査面状態判定手段と、前記検査面状態判定手段により得られる被検査面の表面状態が良好な場合に、前記欠陥候補抽出手段により得られる時間的に異なる時系列の欠陥候補の移動量および移動方向が所定の条件内で一致するかどうかの照合判定を行う追跡処理手段と、前記追跡処理手段により得られた欠陥候補の近傍エリアに他の欠陥候補が所定の個数以上存在する場合に、当該欠陥候補を同一の欠陥候補であるとして処理する近傍領域マッチング手段と、前記欠陥候補抽出手段,追跡処理手段および近傍領域マッチング手段により得られた欠陥情報に基づいて表面欠陥を判別する欠陥判別手段を備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/89 ,  G06T 7/00

FI (6件)：

G01N 21/88 J ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/89 S ,  G01N 21/89 610 Z ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 330 N

Fターム (65件)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB13 ,  2F065BB24 ,  2F065BB25 ,  2F065CC11 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF65 ,  2F065FF67 ,  2F065GG03 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ38 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT03 ,  2G051AA01 ,  2G051AA89 ,  2G051AB07 ,  2G051AC15 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CD06 ,  2G051CD07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051ED09 ,  2G051ED21 ,  5B057AA06 ,  5B057BA02 ,  5B057BA17 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC03 ,  5B057CE05 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DA15 ,  5B057DB02 ,  5B057DC30 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096BA04 ,  5L096CA02 ,  5L096DA03 ,  5L096EA06 ,  5L096FA09 ,  5L096GA02 ,  5L096GA34