特許
J-GLOBAL ID:200903074011191958
プラズマ処理容器内部材およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小川 順三 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-351546
公開番号(公開出願番号):特開2001-164354
出願日: 1999年12月10日
公開日(公表日): 2001年06月19日
要約:
【要約】【課題】 耐プラズマエロージョン性に優れるプラズマ処理容器内部材と、その有利な製造方法とを提案する。【解決手段】 基材の表面が、アンダーコートとして形成された金属皮膜と、そのアンダーコート上に中間層として形成された Al2O3皮膜と、そしてその中間層上にトップコートとして形成されたY2O3溶射皮膜とからなる多層状複合層によって被覆されている。
請求項(抜粋):
基材の表面がY2O3溶射皮膜によって被覆されていることを特徴とする、プラズマ処理容器内部材。
IPC (5件):
C23C 4/10
, C23C 14/00
, C23C 16/06
, H01L 21/3065
, H01L 21/31
FI (5件):
C23C 4/10
, C23C 14/00 C
, C23C 16/06
, H01L 21/31 C
, H01L 21/302 B
Fターム (42件):
4K029AA02
, 4K029BA26
, 4K029BC01
, 4K029DA01
, 4K029GA03
, 4K030BA02
, 4K030BA14
, 4K030CA02
, 4K030KA47
, 4K030LA01
, 4K031AA01
, 4K031AA08
, 4K031AB02
, 4K031AB03
, 4K031AB04
, 4K031BA01
, 4K031BA05
, 4K031CB07
, 4K031CB11
, 4K031CB12
, 4K031CB14
, 4K031CB21
, 4K031CB23
, 4K031CB24
, 4K031CB26
, 4K031CB39
, 4K031CB42
, 4K031CB43
, 4K031DA04
, 5F004AA13
, 5F004AA15
, 5F004BC08
, 5F004BD04
, 5F004BD05
, 5F004DA11
, 5F004DA17
, 5F045AA08
, 5F045AA18
, 5F045AA19
, 5F045AC05
, 5F045BB15
, 5F045EB03
引用特許:
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