特許
J-GLOBAL ID：200903074011699439
ネガレジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-212972
公開番号（公開出願番号）：特開2007-004097
出願日： 2005年07月22日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：
【課題】残膜率、パターンの安定性、基材に対する接着力及び耐化学性などの基本物性が良好なだけでなく軟性に優れており合着工程や高温工程中において容易に割れないネガレジスト組成物の提供。【解決手段】(a)下記i)〜iv)の単量体の共重合体よりなるバインダー樹脂と、i)不飽和基を有する酸、ii)エポキシ基に置換された(メタ)アクリル酸誘導体、iii)アルキル基に置換された(メタ)アクリル酸誘導体及びiv)アルキル基に置換された(メタ)アクリル酸誘導体、不飽和二重結合を有する化合物またはこれらの混合物、(b)3個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリル単量体と、(c)1〜2個のアクリル基を有する(メタ)アクリル単量体、及び(d)光開始剤を含有するネガレジスト組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)下記i)〜iv)の単量体を含む単量体の共重合体からなるバインダー樹脂3ないし40重量部と、
i)炭素原子数が3〜10である不飽和基を有する酸、その酸無水物またはこれらの混合物10ないし50モル%、
ii)炭素原子数が3〜10であるエポキシ基に置換された(メタ)アクリル酸誘導体5ないし50モル%、
iii)炭素原子数が7〜16であるアルキル基に置換された(メタ)アクリル酸誘導体1ないし35モル%、
iv)メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ジシクロフェンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2-メトキシエチル(メタ)アクリレート、2-エトキシエチル(メタ)アクリレート、スチレン、α-メチルスチレン、アセトキシスチレン、N-メチルマレイミド、N-エチルマレイミド、N-プロピルマレイミド、N-ブチルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、(メタ)アクリルアミド及びN-メチル(メタ)アクリルアミドからなる群より選択された何れか一つ以上の炭素原子数が1〜6であるアルキル基に置換された(メタ)アクリル酸誘導体または炭素原子数が4〜14である不飽和二重結合を有する化合物5ないし55モル%、
(b)3個以上の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリル単量体1ないし40重量部と、
(c)1〜2個の(メタ)アクリル基を有する(メタ)アクリル単量体1ないし40重量部と、
(d)光開始剤0.01ないし10重量部とを含有するネガレジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/033
, G03F 7/004
, G03F 7/027
G03F7/033
, G03F7/004 501
, G03F7/027 502
2H025AA14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025CA01
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB51
, 2H025CB55
, 2H025CB56
, 2H025CC03
, 2H025CC06
