特許
J-GLOBAL ID：200903074021081301
ステージ位置計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-228817
公開番号（公開出願番号）：特開平8-069964
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】 計測値の温度揺らぎの発生を抑えて、高い計測精度を有するステージ位置計測装置を提供すること。【構成】 本発明においては、チャンバ内に収容された移動可能なステージと、該ステージの位置を光学的に計測するための計測手段と、前記チャンバ内の雰囲気を全体的に空調するための全体空調手段と、前記計測手段の光路を局部的に空調するための局部空調手段とを備え、前記光路における空気温度が前記光路の近傍における雰囲気温度とほぼ一致するように前記局部空調手段を制御するための制御手段をさらに備えている。
請求項（抜粋）：
チャンバ内に収容された移動可能なステージと、該ステージの位置を光学的に計測するための計測手段と、前記チャンバ内の雰囲気を全体的に空調するための全体空調手段と、前記計測手段の光路を局部的に空調するための局部空調手段とを備え、前記光路における空気温度が前記光路の近傍における雰囲気温度とほぼ一致するように前記局部空調手段を制御するための制御手段をさらに備えていることを特徴とするステージ位置計測装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01L 21/68
